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      輝光離子氮化爐的常見故障原因分析

      作者:admin 發布日期: 2022-09-08 二維碼分享
            輝光離子氮化爐在工作過程中難免出現故障,那么,它的的常見故障原因是什么呢?分析如下。
            現象一:有電壓無電流
            故障點:爐體真空度是否達到起輝光的真空度;MC-B 控制器弧顯燈、故障燈是否亮;陰陽端到爐體是否接觸良好。
            現象二:出爐工件檢驗分歧格
            故障點:保溫時間不夠;保溫溫度不是理想的工藝溫度;工件溫度不均勻;氨氣純度不夠或壓力不夠;離子電源老化,頻率發生變化;真空泵抽氣速度達不到。
            現象三:頻繁出現故障指示燈亮,設備無法正常工作
            故障點:用示波器監測兩個IGBT的VGE信號是否一致(此時高壓盡對不答應接通);爐內尚未起輝前(電壓500V以下)的故障,通常與電阻的損壞或主回路上所有連線和連接處接觸不良有關;輝光離子氮化爐內剛起輝或起輝后常出故障,有以下幾種可能性。
            1)IGBT的吸收回路的電容虛焊或失效、電阻的損壞;
            2)兩個IGBT電壓的偏差較大。

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